最新資訊
- 1 石墨坩堝爐內(nèi)溫度分布不均，局部過熱
- 2 高純石墨坩堝的抗壓強(qiáng)度雖達(dá)200MPa
- 3 高純石墨坩堝硬度高
- 4 高純石墨坩堝的導(dǎo)熱性好
- 5 高純石墨坩堝需經(jīng)等靜壓成型（200MPa壓力）和高溫?zé)Y(jié)（2800℃）
- 6 高純石墨坩堝的突然裂開堪稱 “生產(chǎn)事故”
- 7 高純石墨坩堝為什么會(huì)裂開？6大原因讓坩堝 “短命”
- 8 高純石墨坩堝裂開絕非偶然
- 9 石墨坩堝的等級(jí)區(qū)別體現(xiàn)在原料、性能和適用場(chǎng)景等多個(gè)方面
- 10 石墨坩堝的適用場(chǎng)景決定等級(jí)選擇
- 11 石墨坩堝的導(dǎo)熱與抗熱震性能
- 12 石墨坩堝的純度與雜質(zhì)含量
半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品材料的處理
發(fā)布作者：jcadmin 發(fā)布時(shí)間：2024年04月09日
半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品資料的處理
未運(yùn)用過的石墨制品資料發(fā)熱體、保溫罩、托架和籽晶夾、石墨坩鍋等器材，因在機(jī)械加工時(shí)有石墨粉附著在石墨制品資料器材的外表或浸入石墨體氣孔中，也可能有其他雜質(zhì)浸人石黑孔隙中，為了避免在運(yùn)用中對(duì)半導(dǎo)體資料引起污染，在運(yùn)用前必須進(jìn)行預(yù)處理。
一種預(yù)處理辦法是先將石墨器材在四氯化碳中浸泡數(shù)小時(shí)，然后用去離子水沖凈并烘干，在運(yùn)用溫度下真空煅燒3~4h，再保存起來待用。另二種預(yù)處理辦法是將石墨器材放在王水里浸泡24h，取出后用去離子水煮沸多次，首至溶液望中性為正。烘于后連同整套石墨器材裝在爐腔里，在真空中（一般10-mmlHg以上）進(jìn)行高溫處理h，其溫度應(yīng)稍高于工作溫度，冷卻后取出放人枯燥瓶待用。對(duì)運(yùn)用過的行題器材心愛善保管。再運(yùn)用時(shí)，可先用0號(hào)金相砂紙擦去外表層，再經(jīng)去離子水和無水酒精擦凈后烘干，即可運(yùn)用。